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Artikelnummer:162392558065AD-TEC AX 24000 W 27,12 MHz Plasma RF Generator aus Phoebus PECVD. AD - TEC Plasma Generator RF Generator Typ: AX -24000 W - 27 M-n Maße: 100 x 100 x 130 hoch cm Gewicht ca 650 kg wassergekühlt die HF Leitung zur Matching Box ist vorhanden , ca 5 m , kann mitgeliefert werden, siehe unsere anderen Angebote bei ebay neuwertiger Zustand aus Versuchsanlage Phoebus / Testanlage Baujahr 2008 Betriebsstunden. ca 200 / in keiner Produktion gelaufen aus der Phoebus Anlage von Leybold Optics / PECVD Solar-Produktionsanlage für mikrokristalline Schichten Das Beschichtungssystem Phoebus arbeitet mit der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD = Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition). Die PECVD-Reaktoren erreichen die gewünschten Materialqualitäten des amorphen und mikrokristallinen Siliziums mit hoher Schichtgleichmässigkeit bei gleichzeitig niedrigen Produktionskosten. Phoebus basiert auf einem linearen Cluster-Ansatz, Carrier-freien und vertikalen Substrattransport. Einfach- oder Tandemzellen jeweils in gleich bleibender Qualität. Von Robotern durch eine vertikale Schleuse in das Vakuum überführt. Einfache Dünnfilm-Zellen (a-Si) durchlaufen drei Beschichtungskammern, Tandemzellen (a-Si/µc-Si) benötigen sechs Stufen und werden dabei ebenfalls im Vakuum gehalten. Das Carrier-freie Konzept inklusive der In-sitsu-Reinigung wirken sich positiv auf die Total Cost of Ownership (TCO) aus. Substrate in der Grösse von 1,1 x 1,4 Meter werden verarbeiten. Auslandsversand bitte auf Anfrage, angegebene Preis ist max Preis, zB Mexiko
Condition:Gebraucht
Condition:aus Versuchsanlage , keine Produktion
Marke:ADTEC
Herstellungsland und -region:Japan
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Preis - AD-TEC AX 24000 W 27,12 MHz Plasma RF Generator aus Phoebus PECVD
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